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          1. 全自動傳片機

            全自動傳片機是針對晶圓的全自動倒片、理片機;可從一個Wafer Cassette傳遞到另外一個Wafer Cassette,通過參數設定可實現Up Ranking、down Ranking及自定義方式傳遞,采用X、Y、Z  三軸機械走位及陶瓷手柄實現高精度定位,確保產品在傳遞過程的安全。設備可適用12寸8寸晶圓及各種標準料盒,也可訂制非標料盒,設備采用工控機控制,15寸觸摸操作人機界面,操作簡易方便。

            產品詳情

            技術參數:

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            產品特點:

            陶瓷Robot取放產品;

            X,Y,Z三軸機械手精準定位;

            支持各種半導體標準Wafer Cassette,自動Mapping掃描;

            工控機控制,運行穩定;

            15寸觸摸屏顯示操作,方便簡潔;

            參數可自由設定調用;

            傳片方式有Up Ranking,down Ranking模式也可自定義模式;

            固定式或手柄式Bar Code Reader讀取料盒條形碼;

            可配置去離子裝置;

            可訂制Sec Gem功能;

            Uph>100片/小時(不含定位功能)。


            注:圖文數據均以廠家提供為準。

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